產品特色
．奈米複合硬質塗層設備
．採陰極電弧鍍膜技術，可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源
．圓形靶靶材利用率高
．真空零配件均採進口元件
．特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)
．系統採夾層式水路冷卻；八邊形不銹鋼腔體
．搭載4 組Heater，可均勻升溫至450℃
．搭載超高真空渦輪幫浦
．8軸3層公自轉機構，產能大且膜層均勻
．置具台車方便Loading /Unloading生產，提供生產效率
．全自動化鍍膜生產，可遠端網路診斷及程式除錯
．可鍍膜種類：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…